交叉束離子源（Figure 6.11）允許垂直和平行于系統(tǒng)軸的分子束直接通行。
系統(tǒng)使用預(yù)先選定的能量 (0 – 120 eV) 從左側(cè)或右側(cè)金屬絲 (1) 將電子發(fā)射到形成區(qū)域 (3)。金屬絲電勢(shì)處的維納爾圓柱電極 (4) 能夠防止電子散射到環(huán)境中去。由于電子能量可在較寬的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)置，所以該離子源可用于確定表觀電勢(shì)。交叉束離子源非常地保持離子以射入狀態(tài)進(jìn)入質(zhì)量過濾器。交叉束離子源用于診斷捆綁式分子束。在該過程中，分子束垂直于投影平面軸射入形成區(qū)域（Figure6.11）。在通過離子源 (7) 后，非電離中性氣體分子引導(dǎo)進(jìn)入泵中或進(jìn)入冷阱中進(jìn)行冷凝。具有這種類型離子源的質(zhì)譜儀也用作分子束外延的“速度計(jì)”。