離子必須能夠穿過四級桿過濾器，而不與中性氣體粒子碰撞。在壓力 p < 10-4 hPa 時獲得的平均路徑長度是操作四級桿質(zhì)譜儀所必需的。這需要具有壓力監(jiān)測功能的合適泵站。
為進行具有z*佳靈敏度的氣體分析，不僅低底壓是必要的，而且殘余氣體應只包含源自設備壁解吸的不可避免的分壓。
使用渦輪拖式泵站，這種類型的殘余氣體光譜和低底壓可達到z*佳。附加的總壓計防止質(zhì)譜儀在過高壓力時通電。在建立此類系統(tǒng)時，必須注意進氣口、閥、泵和測量儀器的適當安排，以避免不利流動條件產(chǎn)生的歪曲。真空工藝在高壓下運行的過程中，通常需要一個用于對測量系統(tǒng)進行抽空的獨立泵站。帶有渦輪拖式泵和隔膜泵的小型泵站可作此用途。