待分析的氣體通常必須從大氣氣壓下降到低于質(zhì)譜儀 (MS) 工作壓力的壓力。由質(zhì)譜儀監(jiān)測(cè)的許多真空技術(shù)工藝發(fā)生在 p> 10-4 hPa 的壓力范圍內(nèi)。因此，四級(jí)桿質(zhì)譜儀的基本要素是根據(jù)特殊的應(yīng)用配備合適的進(jìn)氣系統(tǒng)。可使用各種減壓程序，這取決于所涉及的壓力梯度。
氣體混合物應(yīng)該允許進(jìn)入質(zhì)譜儀而無(wú)需去混，如條件允許：
■■ 在壓力 p > 10 hPa 時(shí)，壓力通過(guò)（可加熱的）毛細(xì)管降低，其中，層流占主導(dǎo)地位，具有下游進(jìn)氣閥。在某些情況下，需要通過(guò)額外的泵來(lái)降低壓力。
■■ 在壓力 p < 10 hPa 時(shí)，使用節(jié)流孔和質(zhì)譜儀降低壓力，并使用渦輪分子泵對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行差動(dòng)排氣。
■■ 在壓力 p < 10-4 hPa 時(shí)，質(zhì)譜儀可以直接安裝具有開放式離子源的工藝室中。
如果使用節(jié)流孔降低壓力，其氣體類型有關(guān)的電導(dǎo)率被朝向泵的流道的氣體類型有關(guān)的電導(dǎo)率抵消，這意味著，QMS 中的濃度反映真實(shí)的氣體組成。