質(zhì)譜探測器通過在磁場或電場中分離后進行電離來分離混合氣體，而石英視窗探測器利用氣體不同的滲透性能。
示蹤氣體被傳送到加熱膜片的石英表面。石英膜片的載體層包括有幾千個孔的硅晶片，所有進入氣體的原子和分子可以通過這些孔到達石英膜片。分離本身發(fā)生在石英膜片上，膜片只能允許氦穿過，其他氣體則不能穿過。膜片的厚度和溫度是氦測試氣體滲透性的影響因素。在氣體已經(jīng)穿過膜片后，已經(jīng)進入的示蹤氣體被電離，且離子電流是泄漏率的度量標準。
該裝置通過真空連接法蘭 (1) 連接至待測試的系統(tǒng) (6)。連接(3) 可以選擇地連接至附加的真空泵上。為準備泄漏測試，該泵可以抽空該裝置的真空系統(tǒng)，而切斷閥 (9) 仍關(guān)閉。
該切斷閥 (9) 在測試時打開。可選的泵在較高系統(tǒng)壓力下可以產(chǎn)生減少傳感器響應(yīng)時間的氣體流量。
傳感器 (2) 測量真空中氦的分壓。系統(tǒng)上的泄漏檢測(7) 用于確定響應(yīng)時間和校準裝置。
為保護傳感器及在強信號后清洗裝置，可以進行自動清洗。
閥 (4) 打開，使用大氣簡單地清洗帶有節(jié)流閥 (5) 和傳感器的入口。