局部泄漏檢測用于確定試樣中的泄漏。
在真空方法中，試樣（容器）被連接至泄漏探測器，并使用噴槍將氦噴灑到可疑區域上。如果試樣中的壓力是在分子流范圍內，即 < 10-3 hPa，測試速度將取決于試樣的體積和氦測試設置的有效抽速。試樣越小或所用泄漏探測器或輔助泵的抽速越大，就越快獲得結果。在較高壓力下，尤其是在大于 1 hPa 的層流范圍內，顯示的速度會慢得多，并將受到泄漏探測器前級泵抽速的約束。
在吸槍方法中，根據Figure 6，試樣 (3) 充有超壓的測試氣體。吸槍探頭 (2) 被連接到泄漏探測器的測試氣體連接上。
從試樣泄漏點逸出的測試氣體可以使用探頭通過嗅探進行檢測。
圖 7.6：使用吸槍和真空方法的局部泄漏檢測
使用局部泄漏檢測可以確定各個泄漏點。然而，卻無法確定所有泄漏總數。這就是該方法對于為質量保證目的提供GO/NO GO 指示只具有有限適用性的原因。
表 7.1：使用吸槍和真空方法的局部泄漏檢測