交互吸附法處理VOCs廢氣是采用交互吸附法對低濃度、大風量工業廢氣中的VOC進行分離濃縮，對濃縮后的高濃度、小風量的氣體采用燃燒法進行分解凈化。
其工藝流程為：含有VOC的污染廢氣由鼓風機送入反應器，污染空氣在通過吸附通道時，所含VOC成分被吸附劑所吸附，廢氣得以凈化并通過管路輸送到煙囪排放。當接近吸附飽和狀態的反應器停止工作轉而進入脫附期，可啟動加熱并利用真空泵進行脫附，高濃度的VOC氣體被脫附下來直接進入燃燒室。經1000攝氏度以上的高溫燃燒后，VOC被徹底凈化為CO2和水，尾氣通過煙囪進行排放。
該方法對多種VOC氣體均有良好的去除率，非選擇性好，有機分子被吸附和鎖定在微孔中，VOC的總攔截效率可達98%以上;該系統采用微電腦全程控制、運行成本低，保證了系統高效運作；同時系統采用具有防爆等級的零部件，反應器等重點部位都帶有溫度檢測儀、壓力傳感器等動態監控運行狀況，保證設備工作在設定的安全控制范圍內。