科學(xué)技術(shù)飛躍的今天，光電技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用已經(jīng)深入到各行各業(yè)，但是其制備的必須設(shè)備——高真空鍍膜機，由最初的復(fù)雜化、手動化和只能被應(yīng)用到軍事科研領(lǐng)域，發(fā)展到現(xiàn)在的簡單化，集成化，智能化，并且被廣泛推行及民用，價格也由之前的幾千萬一臺降到現(xiàn)在的幾百萬就可以買到。光電技術(shù)的發(fā)展必然以真空技術(shù)為基礎(chǔ)。高真空鍍膜機不受鍍膜元件的資料及現(xiàn)狀的影響。鍍膜的厚度能夠操控，通常為十幾分或百分之幾微米，因而，高真空鍍膜機被廣泛運用于電子設(shè)備，地理儀器，外表等各職業(yè)，是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。下面賢集網(wǎng)小編來詳細為大家介紹高真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)、基本技術(shù)要求、用處、特點、適用范圍、操作程序、檢漏注意事項。一起來看看吧！
高真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)
一、真空主體——真空腔
根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng)
此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成?排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
1、機械泵：
也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
2、增壓泵
增壓泵又叫羅茨泵，它是具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強范圍內(nèi)有較大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點，此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機械泵來完成，因此，它必須配以機械泵作為前級泵。
3、油擴散泵：
機械泵的極限真空只有10-2帕，當(dāng)達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。
高真空鍍膜機的基本技術(shù)要求
1、設(shè)備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。
2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管，分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時，應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
3、如果設(shè)備使用的主泵為擴散泵時，應(yīng)在泵的進氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。
4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。
5、離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率，提高鍍膜材料的利用率，合理匹配沉積源的功率，合理布置沉積源在真空室體的位置。
6、合理布置加熱裝置，一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。
7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣，工件架的設(shè)計應(yīng)使工件膜層均勻。
8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負偏壓和離子轟擊電源，離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置，維持工作穩(wěn)定。
9、真空室接不同電位的各部分絕緣電阻值的大小：
①環(huán)境溫度：10-30oC
②相對濕度：不大于75%
③冷卻水進水溫度：不高于25oC
④冷卻水質(zhì)：城市自來水或相當(dāng)質(zhì)量的水
⑤供電電源：380V三相50Hz或220V單相50Hz(由所用電器需要而定)；電壓波動范圍：342-399V或198-231V；頻率波動范圍：49-51Hz。
⑥設(shè)備所需的壓縮空氣，液氮，冷水、熱水等。
高真空鍍膜機的用處
蒸騰鍍膜通常是加熱靶材使外表組分以原子團或離子方式被蒸騰出來。并且沉降在基片外表，通過成膜進程(散點-島狀構(gòu)造-迷走構(gòu)造-層狀生長)形 成薄膜。 關(guān)于濺射類鍍膜，能夠簡單理解為使用電子或高能激光炮擊靶材，并使外表組分以原子團或離子方式被濺射出來，并且終究堆積在基片外表，閱歷成膜進程，終究形成薄膜。
高真空鍍膜機的特點
1、真空鍍膜機采用箱式結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)后置，便于操作和和維修；整機表面平整，便于清潔，特別適合放在凈化間內(nèi)作穿墻式安裝。
2、真空鍍膜機真空系統(tǒng)抽速大，具有抽氣時間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點。?3、工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動，軸承帶水冷，磁流體密封，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)可靠。
4、真空鍍膜機先進的鍍膜控制系統(tǒng)，人機操作界面美觀實用，系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，可實現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作。
高真空鍍膜機的適用范圍
1、修建五金：衛(wèi)浴五金(如水龍頭).門鎖.門拉手.衛(wèi)浴、五金合葉、家私等。
2、制表業(yè)：可用于表殼.表帶的鍍膜、水晶制品。
3、其它小五金：皮革五金.不銹鋼餐具.眼鏡框、刀具、模具等.
4、大型工件：轎車輪轂、不銹鋼板.招牌.雕塑等。
5、不銹鋼管和板(各品種型外表)
6、家私、燈具、賓館用具。
7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝修膜。
8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝修品鍍超耐磨裝修(金銀)納米膜和納米膜和納米疊層膜。
高真空鍍膜機的操作程序
真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設(shè)備說明書和設(shè)備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明。
1、檢查真空鍍膜機各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。
2、打開總電源開關(guān)，設(shè)備送電。
3、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。
4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。
5、落下鐘罩。
6、啟動抽真空機械泵。
7、開復(fù)合真空計電源(復(fù)合真空計型號:Fzh-1A)。
a、左旋鈕"1"順時針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。
b、低真空表"2"內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
8、當(dāng)?shù)驼婵毡?2"內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
9、真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。
10、低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表"2"內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥桿順時針旋轉(zhuǎn))。
11、等低真空表"2"內(nèi)指針右移動至0.1Pa時，開規(guī)管燈絲開關(guān)。
a、發(fā)射、零點測量鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。
b、左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
12、旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕"4"，使高壓真空表"5"內(nèi)指針指向5。
13、發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向零點位置。
14、旋轉(zhuǎn)零點調(diào)節(jié)鈕"10"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向0位置。
15、發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向測量位置。
16、旋轉(zhuǎn)標準調(diào)節(jié)鈕"3"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向10。
17、旋轉(zhuǎn)"倍加器"開關(guān)鈕"8"至指向10-12，當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時針左移超過1時，再把"倍加器"開關(guān)旋鈕"8"旋轉(zhuǎn)至指向10-3。
18、當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉(zhuǎn)鈕開關(guān)，鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動。
19、開蒸發(fā)鈕開關(guān)。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)(設(shè)有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。
20、右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪，慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。
a、從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。
b、當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。
c、鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。
d、右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位。次蒸鍍工作完成。
21、如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復(fù)?操作動作。
22、關(guān)閉規(guī)管燈絲開關(guān)。關(guān)閉高壓閥(逆時針轉(zhuǎn)手柄)。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn)。關(guān)閉蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)機械泵鈕至指向擴散泵位置。
23、低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間，當(dāng)沒有氣.聲時，升鐘罩。
24、鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉(zhuǎn)動圓盤上。
25、落鐘罩。開機械泵。
a、左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
b、當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。
c、左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
d、當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
e、當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規(guī)管燈絲。
f、由?開始重復(fù)操作至? 。
26、PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩。取出工件，做好鐘罩內(nèi)清理工作。
a、落下鐘罩。
b、開機械泵，抽3~5min，停機械泵。
c、切斷供電總開關(guān)。
d、1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成。
27、正常生產(chǎn)中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關(guān)閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電后，先讓機械泵啟動工作3~5min后，再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。
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