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超高真空系統(tǒng)所用的主泵有油擴(kuò)散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發(fā)式或升華式鈦泵)、渦輪分子泵、低溫泵等。近年來(lái)國(guó)內(nèi)有用鋯鋁吸氣劑泵與其它泵類組合抽氣來(lái)獲得超高真空。對(duì)超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求，除通常的選泵...

油擴(kuò)散泵是獲得超高真空的重要泵種，但必須很好地解決污染，否則無(wú)法獲得超高真空。擴(kuò)散泵系統(tǒng)的污染主要來(lái)自擴(kuò)散泵油的返流，機(jī)械泵油的返流，以及擴(kuò)散泵油加熱分解產(chǎn)生的性氣體，如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴(kuò)散泵油...

高壓縮比的渦輪分子泵，以雙級(jí)旋片式真空泵為前級(jí)，可得到5×10-9Pa的真空度。用擴(kuò)散泵作前級(jí)，可得到10-9Pa真空度。泵入口安裝上鈦升華阱，獲得的真空度高于10-9Pa。渦輪分子泵對(duì)氫的壓縮比較小，殘余氣體中主要...

一、汽蝕產(chǎn)生原理汽蝕是由液體氣化引起的，液體分子逸出液體表面，成為氣體分子的過(guò)程，稱為“氣化”。液體的氣化程度與壓力的大小、溫度高低有關(guān)。溶解于液體中的氣體，在壓力和溫度變化時(shí)也會(huì)釋放出來(lái)，形...

電磁真空閥靠磁場(chǎng)磁力和彈簧復(fù)位力用以打開(kāi)或關(guān)閉閥門，它有常開(kāi)、常閉兩種規(guī)格，通常應(yīng)用z*多的是不通電時(shí)常閉，這樣遇到突然停電，閥門自動(dòng)關(guān)閉，避免大量空氣進(jìn)入真空室。①上海閥門二廠生產(chǎn)的電磁閥有GDC-J型電磁...

電磁充氣壓差閥是裝在機(jī)械真空泵進(jìn)氣口上的專用閥門，當(dāng)泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，利用大氣壓力使閥板自動(dòng)落下將真空系統(tǒng)封閉，并通過(guò)閥的充氣口將大氣充入泵腔中，起到保持真空系統(tǒng)的真空度和防止機(jī)械真空泵油返流污染真空系統(tǒng)...

低溫泵對(duì)不銹鋼制造的超高真空容器排氣很適合。20K的低溫泵可得到10^-8Pa的真空度，4.2K的低溫泵，可得到10^-10Pa—l0^-12Pa的真空度。低溫泵系統(tǒng)不產(chǎn)生碳?xì)浠�合物、金屬膜的剝落碎片或自身帶�?lái)的其它污染。在...

濺射離子泵通常與鈦升華泵聯(lián)合使用。濺射離子泵的殘氣中主要成分是氫，而鈦升華泵抽氫效果z*好。一般中小型真空系統(tǒng)以濺射離子泵作主泵;而大型系統(tǒng)以鈦升華泵作主泵，用這種機(jī)組可得到10-9Pa的真空度。在超高真空系...

真空泵保養(yǎng)應(yīng)注意的十二個(gè)竅門1.檢查真空泵管路及結(jié)合處有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。2.向軸承體內(nèi)加入軸承潤(rùn)滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤(rùn)滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。3.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水或引漿。4.關(guān)好出...

真空微調(diào)閥又名真空針閥，靠螺桿傳動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)錐形針和孔的縫隙長(zhǎng)度，改變閥座流導(dǎo)值，用以調(diào)節(jié)流量裝置的氣體流量和控制真空容器的真空度。①上海閥門二廠生產(chǎn)GW-J-T型和ZT型兩種規(guī)程的真空微調(diào)閥。適用介質(zhì)為空氣及非...

真空球閥有手動(dòng)、氣動(dòng)和電動(dòng)三種，與真空蝶閥相同，是只需旋轉(zhuǎn)90。就能實(shí)現(xiàn)關(guān)或開(kāi)的真空閥門。真空球閥開(kāi)關(guān)速度快，但體積和漏率都較真空蝶閥大。適用介質(zhì)為空氣、水、蒸氣、酸、堿等。①上海閥門二廠生產(chǎn)的系列球閥...

圖9-13是分子束外延設(shè)備真空系統(tǒng)原理圖。真空室由工作室、噴射爐室、樣品預(yù)備室成。工作室極限真空為1×10^-8Pa，外延時(shí)的工作壓力為1×10^-6Pa。主泵為抽速6×10^3L/s的濺射離子泵一鈦升華泵機(jī)組，...

圖9-14為鉭片爐真空系統(tǒng)原理圖。真空室直徑500mm，主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組，抽速為4×10^3L/s。真空室極限真空為2xl0^-7Pa，工作壓力為2×10^-5Pa，為了粗抽及對(duì)付工藝過(guò)程中放出來(lái)的大量氣體，...

圖9-15為表面研究用的超高真空設(shè)備真空系統(tǒng)原理圖。真空室用不銹鋼制成，直徑450mm，高700mm，容積100L，用銅墊圈密封。系統(tǒng)粗抽用三個(gè)分子篩泵及無(wú)油機(jī)械泵。主泵是鈦升華泵，吸氣面用液氮冷卻，配有濺射離子泵與升華...

真空角閥是用于低、高、超高真空系統(tǒng)中的前級(jí)泵的配套元件。沈陽(yáng)中科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)的CD-J型真空角閥按法蘭密封形式分為真空角閥（氟橡膠密封）及全金屬角閥（無(wú)氧銅墊密封）二種，閥體為不銹鋼，閥傳動(dòng)密...