六氟化硫氣體在常溫、常壓下是一種無色、無嗅、無毒和不可燃的氣體，其化學性能非常穩定，在20℃和101325Pa時的密度為6.08 g/L，約為空氣密度的5倍，六氟化硫氣體的臨界溫度為45.6℃，經壓縮而液化，通常以液態裝入鋼瓶運輸。
六氟化硫氣體的電氣絕緣性能和滅弧性能非常強。六氟化硫的分子量是空氣的5倍，因此六氟化硫離子在電場中的運行速度比空氣中的氮、氧等離子小得多，更容易發生復合性，氟離子使氣體帶電質點減少，大大提高氣體的絕緣水平，約為空氣的3倍。氟元素是所有元素中對電子親和合力最強的，所以六氟化硫具有很強的電負性，對電子吸引能力極大，極易形成負離子，所以六氟化硫氣體的滅弧性能是空氣的100倍。因此，六氟化硫氣體在電氣設備中應用非常廣泛，是目前所發現的絕緣滅弧性能最好的物質。
純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，設備中的放電會造成六氟化硫氣體分解，其分解產物與結構材料是不相容的。六氟化硫氣體在電弧作用下產生氣體的分解，絕大部分分解物為硫和氟的單原子，電弧熄滅后，大部分又可還原，僅有極少部分在重新結合的過程中與游離的金屬原子及水發生化學反應，產生金屬氟化物以及HF有毒性和腐蝕性物質。