氫氣在電子工業(yè)中主要用于半導(dǎo)體、電真空材料、硅晶片、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)等領(lǐng)域。在電子工業(yè)中，氫和氧作為熱處理氣氛氣和過程氣而廣泛使用。這些氣體的純度對產(chǎn)品的好壞影響很大，需要高純氫和氧。一般情況下，氫氣是通過一次純化食鹽電解或石油化工精制副產(chǎn)氣，然后高壓充入鋼瓶等而供給的。氧氣是在液化空氣狀態(tài)下，經(jīng)深冷分離后供給的，在用戶工廠經(jīng)汽化后使用。由于這些生產(chǎn)方法所生產(chǎn)的氫和氧氣中的氮、二氧化碳、一氧化碳、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)不能完全除掉，在半導(dǎo)體等工廠中， 還設(shè)置幾十立方米/小時的終端純化裝置，進(jìn)行 2次終端純化后才能使用。
鎢鉬等金屬廣泛應(yīng)用于電真空材料和合金制品中。在鎢和鉬的生產(chǎn)過程中，用氫氣還原氧化物得到粉末，再加工制成線材和帶材。氫氣純度越高，特別是水含量越低，還原溫度就越低，所得鎢、鉬粉末粒度就越細(xì)。我國鎢鉬生產(chǎn)企業(yè)較多，主要大型企業(yè)有陜西金堆城鉬業(yè)公司、江西贛南鎢鉬制品有限公司、株洲硬質(zhì)合金集團(tuán)公司等。另外還有大量的合金制品生產(chǎn)企業(yè)，如江門恒杰粉末冶金公司、廣東信宜粉末冶金制品廠等。
光導(dǎo)纖維石英光纖的制造主要包括玻璃體預(yù)制棒制備及拉絲兩道工序，在制棒工藝中采用氫氧機(jī)氫氧焰加熱(1200～1500℃)，經(jīng)沉積，可獲得所需沉積層厚度，再經(jīng)燒灼，制成光纖預(yù)制棒。對氫氧焰氣體要求無固體粒子，否則棒上會有黑斑產(chǎn)生。預(yù)制棒直徑約為130mm，長度為900mm，它可拉制長為200km以上的玻璃光纖。
電子工業(yè)用氫多為純氫或高純氫，用量小，一般企業(yè)用量從幾十立方米~幾百立方米/小時。