是SF6設(shè)備產(chǎn)生毒害物質(zhì)的一個條件。如果SF6氣體中含有超過規(guī)定的水分，當(dāng)其濕度發(fā)生變化時，就可能凝結(jié)在固體絕緣表面使該面變潮，這時設(shè)備的沿面放電電壓將顯著下降。SF6.氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、HF及其它有害物質(zhì)的，從而也就可以避免由它們產(chǎn)生的設(shè)備腐蝕。所以，SF6.設(shè)備在充裝氣體時，必須嚴(yán)密措施防止水份進(jìn)入。
（1）工作未開始之前，首先應(yīng)測定現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣相對濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數(shù)。測定如不合格，則應(yīng)采取措施或重選干燥晴朗的天氣進(jìn)行充裝。
（2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進(jìn)行充裝的同時開啟通風(fēng)機(jī)，認(rèn)真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。在工作開始后的一定時間內(nèi)即應(yīng)進(jìn)行檢測，并具體情況于中途再進(jìn)行檢側(cè)。當(dāng)出現(xiàn)SF6.氣體含量增高或超過標(biāo)準(zhǔn)時，應(yīng)隨即對部件進(jìn)行詳細(xì)檢查，查找原因并予以消除。