近幾年乃至未來(lái)，光電子、光伏太陽(yáng)能、IC 等新材料技術(shù)領(lǐng)域?qū)?huì)迅猛發(fā)展，這些技術(shù)的發(fā)展將對(duì)高純氣體、混合氣體產(chǎn)生巨大的需求牽引，若沒(méi)有高質(zhì)量的超純、超凈氣體作保證，所有的一切將無(wú)從談起。由于眾多的超純電子氣體都具有易燃、易爆、有毒、有害等化學(xué)特征，所以為了便于使用，在半導(dǎo)體制程環(huán)節(jié)，它們幾乎均被稀釋，按一定比例被稀釋的氣體稱謂“電子混合氣體”。電子混合氣體和計(jì)量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn)，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8 in( 200mm) 以上的IC 生產(chǎn)線，也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。
發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)電子級(jí)高純氣體和電子混合氣體都有一定的標(biāo)準(zhǔn)，但我國(guó)在此領(lǐng)域尚屬空白，而國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)電子混合氣體的需求無(wú)論在“質(zhì)”與“量”上都有很高的要求，因此，探討電子混合氣體的配制等相關(guān)技術(shù)十分必要。經(jīng)過(guò)潔凈處理的氣瓶雖然內(nèi)表光滑，顆粒物、露點(diǎn)、含氧量滿足要求，即氣瓶對(duì)盛裝的氣體不能造成污染，但對(duì)于低含量的電子混合氣體如SiH4 50 ×10 － 6—H2、PH3 ( 1000 ± 30) × 10 － 6—H2、BCl3 ( 1 ±0. 03) %—N2 類的化學(xué)性混合氣，還要對(duì)組分的穩(wěn)定性做一系列的考察，否則很容易產(chǎn)生內(nèi)表面的“吸附”而導(dǎo)致組分含量下降，甚至完全被“吃掉”，每種組分所用的內(nèi)標(biāo)處理方法不盡相同。
電子高純氣體充裝壓力是用戶和供應(yīng)商十分關(guān)心的問(wèn)題。發(fā)達(dá)國(guó)家有著明確的規(guī)定，對(duì)氣瓶中氣體的壓力( 某溫度下) ，混合氣體的體積規(guī)定得很清楚，如日本PH3 0. 8%—He 混合氣之規(guī)定“充填壓力( 35 ℃) : 14. 7 MPa，充填量: 7. 0 m3 ( 35 ℃) ”，我國(guó)目前混合氣的充裝壓力基本上是由供需雙方協(xié)商而定，即使供氣方是要達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的壓力，但我們的氣瓶工作壓力、原料氣的壓力等很難達(dá)到。目前，或許因瓶裝工業(yè)氣體價(jià)格太低的原因，在北方等地區(qū)瓶裝高純氮氣的壓力僅有11. 0 MPa，即使是一些外企也因市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)一味地降低氣體充裝壓力，如此惡性循環(huán)導(dǎo)致我國(guó)氣體市場(chǎng)狀況愈加混亂，而政府職能部門的不作為，縱容了這種行為的不斷惡化。所以如何實(shí)現(xiàn)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)或準(zhǔn)則的有效接軌，是政府應(yīng)該解決的大事，制定修訂我國(guó)氣瓶工作壓力國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是所有這一切的起點(diǎn)。南京高純氣體