沈陽液態(tài)氣體純凈的SF6氣體一般公認(rèn)是無毒的。 SF6在生產(chǎn)過程中會(huì)有少量伴隨的生成物，其中S2F10是公認(rèn)的劇毒氣體，但經(jīng)過凈化處理可以完全將它除凈。純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。SF6氣體通過對(duì)流能與空氣混合，但速度很慢。氣體一旦混合后就形成SF6和空氣的混合氣體，不會(huì)再次分離。問題嚴(yán)重的是，電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性.SF4(四氟化硫)常溫下SF4為無色的氣體，有類似SO2的刺鼻氣味，在空氣中能與水分生成煙霧，產(chǎn)生SOF2和HF。 SF4氣體可用堿液或活性氧化鋁(A12O3)吸收。 SF4氣體對(duì)肺有侵害作用，影響呼吸系統(tǒng)，其毒性與光氣相當(dāng)。S2F2(氟化硫),常溫下為無色氣體，有毒，有刺鼻氣味，遇水分能完全水解形成S，SO2和HF。 S2F2對(duì)呼吸系統(tǒng)有類似光氣的破壞作用。SF2(二氟化硫),SF2的化學(xué)性能極不穩(wěn)定，受熱后性能更加活潑，易水解成S，SO2和HF 。 SF2氣體可用堿液或活性氧化鋁吸收。SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。 SO2F2是一種能導(dǎo)致痙攣的有毒氣體。它的危險(xiǎn)性在于無刺鼻性嗅味且不會(huì)對(duì)服鼻粘膜造成刺激作用，故發(fā)現(xiàn)中毒后往往會(huì)迅速死亡。