無菌凈化潔凈室的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。
例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施？
為使生產環境或其他用途的潔凈室室內空氣環境控制在所要求的潔凈度范圍內，就需要送入足夠量的經過處理的清潔空氣，以替換或沖淡室內在正常工作時所產生的污染物質對空氣的污染。根據房間不同的潔凈度要求，用不同方式送入經過不通處理的、數量不等的清潔空氣，同時排走相應量的攜帶有室內所產生的污染物質的臟空氣，靠這樣一種動態平衡，使室內空氣維持在要求的潔凈度水平。
空氣潔凈度為十萬級的潔凈車間。空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度，青島凈化工程通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低，含塵濃度低則空氣潔凈度高。就是以每立方米空氣中的允許粒子數來確定其空氣潔凈度等級。